近期，旭光科技一款采用光刻微纳米加工技术的小电阻小尺寸微型音叉晶体完成产品设计及实验验证，各项性能指标优良，正在准备量产阶段。该款新产品同样采用公司成熟的石英MEMS光刻工艺技术，提升了石英晶片的制造精度，使其具备更加优异的耐高温性、抗震性和可靠性。广泛应用于要求功耗低、时钟准确度高、进行实时时钟显示以及定时处理某些操作的仪表，如电表、水表、气表，以及高精度RTC等有高精度时间要求的应用场景。
经测本产品指标满足：
通常情况下，晶振的谐振电阻对晶振的性能和稳定性有很大影响。当谐振电阻过大时，可能会导致晶体振荡的频率偏离设计值，进而影响系统的稳定性和性能，更严重的情况可能会导致晶振停止振荡，进而使系统失效，所以更低的谐振电阻对提高晶振整体稳定性有很大帮助。
与普通晶体相比，该产品优化了水晶刻蚀工艺，大大减小了产品的谐振电阻值。该产品常温时谐振电阻平均值小于30 kΩ，宽温度范围内电阻最大值小于45 kΩ，而普通晶振常温时电阻平均值在45 kΩ左右。
温度频率特性曲线对比图：
kHz光刻产品涉及复杂工艺及多学科，技术门槛高，研发难度大，工艺壁垒高。未来小尺寸、超高频MHz产品以及高精度有源产品，光刻工艺是必经之路。公司在MHz和kHz相关产品上持续提升自身研发创新能力、设计能力及市场配套能力，并逐步形成竞争优势，成为核心电子器件国产化首选品牌，并获得国际行业内品质认可，产品品牌知名度及核心竞争优势全面提升。